. , , ,

,,,


:


: . 911101 . .

: . .

 

, 2009


 

1. 

2. 

3. 

4. 

5. 

6. 

6.1

6.2

6.3 ,


, 104-106 . 60- . 80- , , .

( , ) , , - . . , ! , . , , , , , , .

- . , . , , ; , .

, , . .


1.

- , - , , . 0,01 1 , - . .

, , , , . , , .

- 60- . ; . ( - ) () (). , , , .

:

Ø  100 .

.

. , . . . " " .

R, , , , Rp.

2.


. 1.


. 1.

1 -

2 - -

3 -

4 -

5 -

6 -

7 -

8 -

9 -

10 -

11

- , - . , (, , , ).

. , , , . . - ( ). , , . , .


. 2.

. 2. , ,

,

D - ,

Rm - ( ),

DR1, DR2 - ,

 

DRi=DR1 x>Rm,

DRi=DR2 x<=Rm.

, 4 , . 3.


3.

5-10 ( 2-3 , .. , ). , , - 5-10 50-100 ( , , , , ). , ( ) ( ):

1. () , .

2. .

3. .

4. , .

5. ( ).

6. (.. , ).

7. ( ).

8. ( ).

9. , .

10. .

11. .

, , , ( ). , , . , (. . 1).

, , . , , 2, 3 , .

1. , .

1
2
2.1
3
3.1
3.2
3.3
4
5
6
7
8
8.1
8.2

2. ,

1
1.1
1.2
2
2.1
2.2 -
3 ,
3.1
3.2
3.3 ,
3.4
3.5
3.6
4
4.1 p-n-
4.2
4.3

3, , , . , , , , , . , , , , 1 , , .

3. , 2.

1.1 1.2 2.1 2.2 3.1 3.2 3.3 3.4 3.5 3.6 4.1 4.2 4.3
1 - - + - + + + + + + + +
2 + + + - + + + + +
3.1 - + + + + + - - - -
3.2 - + + + - - - - - - - - -
3.3 - + + + - - - - - - - - -
4 - + + + + - + - - + - +
5 - + + - - - - + + + - - -
6 + + - - - - - + + - - - +
7 - + + + + + + - + + + - -
8.1 - - + - + + + - + + + + +
8.2 - + + + - - - + - - + + +

3:

1. 1 2, .

2. + , , - - ; .

, , , . 4 ( , , ).


4. (), , 2.


4 . 3 - .

4 4 :

1. 3 (, 3241 , ).

2*. Ք .

3**. 2 , .. , .

4. 4 , ( 2), ( 3).

4 4 , , , . 1.2.1, , 1, , . 5.


5. , 4.

. 5:

0 - ,

1 - , ,

2 - , ,

3 - , ,

4 - , , - .

3(1-3)(1-2), , 5 .


5 .

- 0.

33, ( ), 5 (2.1.1-2.1.5).

, , 3 5, ( , ) . , . , 3 , , , , - , , . , 12 , 3 5. , , , , , , , / . , , 3 5 ( ).

, ( ), , ( ):

1. :

) (2.1.1, 2.1.2, 2.1.4, 2.3.1, 2.3.2 4.1 4.2),

) (2.1.4, 2.3.1, 2.3.2 4.1 4.2),

) (2.3.1, 2.3.4),

) (2.1.4, 2.3.4, 2.3.5).

2. , . , , , , (3(1-3)(1-4)(1-2)).

- . , (- - ) (2.1, 2.3.3, 2.3.1, 2.3.2 4.1 4.2).

3. kp . , , Cmax=1/kp ( kp>1). , , kp >1 (2.1 4.1 4.2).

, , , , , (3(2-3)(1-2)).

4. ( ) , . , , , (, 1000-1150, - 600-800, 1100, - 400-600) (3(1-4)(1-2)).

5. (2.3.1. 4).

6. . ( ) , , ( , , ).

7. -, . , , , (1.2.3).

8. , (2 3 4).

9. . ( ) - , (, , ) (1.1.3).

10. , - - (2.2).


4.

4 1.2.1 ( ) - . . , 4, , , .

? , ( ), , - .

( ) . , , (, , ), , - 3-6 . , ( ) ( , , ).

: (/2), (2/) (/2, , , $US/2). , 1014 1017 /2. , - . , .. , , , .

6 . , .. . , < 1 . , Pd+ 0.3 , 1017 /2 1 2 20000 , .. 5.4 . (< 0.00002 2/), . , Pd+ 100 , 0.006 2/, 2 , ~1500 $US/2. (- , , ..), 3-20 .

- . 30-100 , Pd; , . , (~2*10-5 0.5-2*10-3 2/), (1500 15 $US/2) . 6 , ( ) , , -. , 2.3.1 3131, 100 2/ 0.2-0.3 $US/2. 1.1.1 ( , ) 1.1.2. , , 2/ <0.02 $US/2.


6. .

6:

- ,

- ,

- (1 - , 2- ),

- ,

- .

.

 


 

5.

, . , ( ) . 10 500 . , , (. 4). (. 4).

. . (. 5).

. 4. (1) (2) .


( ) . , , , . ; , .

, , 6.

. 5.

1 - ;

2 - ;

3 - ;

4 - ;

5 - , ;

6 - ;

7 - , .

, ; . .

. 6. ,

.

. , , . . , , . , , .

"" , "" , . , .

. - .

.

, , . " ".

. . .

. , , . .

. 500 .

.

1. , .

.

. 500 C , .

. 500 C<< 600 .

T> 600 C . 1012 -2 = 800 .

2. , .

, , . 3*1012 3*1014 -2 T> 800 C , .

( 3*1014 -2), . , 600 . , . .

3.

, . ; , 90 % . . . .

4. .

, , , - .

5. .

1-100 /2. . 100 = 800 .

, . , -n , .

, .

-, .

6. .

, , . . . , , .

7. .

. . 1700 .

:

Ø  7-25 %;

Ø  20 ;

Ø  ;

Ø  ;

. 7. 7 . 7 ( 350, 850 .

:

Ø  2,5 ,

Ø  1,9

Ø  1,6

Ø  1,2


. 5. 7 ( 350, 850 ).


6.

6.1

n+ , , s. (30 ) 50 .

-. p+ - . +.

, , F2. F2+ . , F2 .

6.2

:

Ø  .

Ø  .

Ø  .

.

1. .

. , , , . , , , , +u3- . .

2. .

, . .

. , , 850 .

3.

SiOx , . , , .

6.3 ,

- , , B, Ar, As, Sb . .

, , .


. , , . , .

, , . , .

 


 

 

1. .. // . . . . - . - , , 2002, . 77.

2. .., .. // XV . . . - , , 2002, .277.

3. .., .., : . // . 1995. .165. 3. .347.

4. .. . // . .-. , , 1997.

5. . . , . . .

:

 

 

 

! , , , .
. , :