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- . 400 , 500 .

(. 3835024 (), 1974) [1]. , - , . .

, 350 30 () 500 2000 . :

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1, 15
1, 28
11, 28
, 8, 60
, % ( ) 0, 11

. 1.

1 - :

1 - ; 2 - ; 3 - ; 4 - ; 5 - .

(. 2) : 16 , 30 , 170 .

: 1 - ; 2 - ; 3 - ; 4 - ; 5 - ; 6 - ;

(~30 ) , , (. 2X1 ) . 12 ( = 200 ) . , , . ( ) ( 0, 5) .

- 80500.

. -104 - . : 2 , 3 ; AW-HMDS 5 % ( ) S-30; 300 ; 50 300 4 /; - () 100 /, 100 /, 1 /.

[2, 3]. -1 : 3, 5 , 3 ; AW-HMDS 5 % ( ) S-30; 350 330; 50 320 2 /; - () 120 /, 90 /, 1, 7 /.

, , , , , . 59, 2662, 09 % ( ).

γ - , -104, . 3.

. 3. γ - , () () 350 =500

, , [4].

30 . 1, , 2000 α - ( 3, 25 %) , ( α 2 - ), β - . , , , , - . .

1 - 30 .

, %
, , α1 α2 α β γ
- - 3, 33 5, 27 8, 60 38, 40 53, 00
350 500 2, 66 7, 06 9, 72 34, 51 55, 77
350 1000 3, 24 7, 22 10, 46 29, 76 59, 73
350 1500 2, 99 8, 21 11, 20 32, 40 56, 72
350 2000 2, 58 9, 27 11, 87 33, 84 54, 31

, , , 1014 (, , ), 24 (), 30 (), 34 (, ), 46 (). 21 (, 2, 6-), 25, 26 (), 27 (), 32 (, ), 47 (), 59 (), 6870 (), 79 () .

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