Áàçà çíàíèé ñòóäåíòà. Ðåôåðàò, êóðñîâàÿ, êîíòðîëüíàÿ, äèïëîì íà çàêàç

êóðñîâûå,êîíòðîëüíûå,äèïëîìû,ðåôåðàòû

Èíòåëëåêòóàëüíûå òåõíîëîãèè — Ôèçèêà

Ìèíèñòåðñòâî îáðàçîâàíèÿ Ðîññèéñêîé Ôåäåðàöèè

Ìîñêîâñêèé àâòîìîáèëüíî-äîðîæíûé èíñòèòóò (ÃÒÓ)

Âîëæñêèé ôèëèàë

ÐÅÔÅÐÀÒ ÍÀ ÒÅÌÓ:

ÈÍÒÅËËÅÊÒÓÀËÜÍÛÅ ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ

Âûïîëíèë: ñòóäåíò 2 êóðñà

ãðóïïû ÝÓÒ-25 Ïûðêèí À.À.

Ïðîâåðèë: Êèðèé

×åáîêñàðû 2005


ÑÎÄÅÐÆÀÍÈÅ

Ââåäåíèå. 3

ÃËÀÂÀ 1. 4

1.1. Ñèñòåìû äàò÷èêîâ. 4

1.2. Òðåáîâàíèÿ ê ñèñòåìàì äàò÷èêîâ â èíòåëëåêòóàëüíûõ ñòðóêòóðàõ. 5

1.3. Äàò÷èêè. 7

2.3.1. Îïòîâîëîêîííûå äàò÷èêè. 7

1.3.2. Ìèêðîýëåêòðîìåõàíè÷åñêèå ñèñòåìû.. 15

2.3.3. Ïúåçîêåðàìèêè è ïüåçîýëåêòðè÷åñêèå ïîëèìåðû.. 20

1.3.4. Ïîâåðõíîñòíûå ïëåíêè è íèòè. 21

ÇÀÊËÞ×ÅÍÈÅ. 24

ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÀß ËÈÒÅÐÀÒÓÐÀ.. 25


Ââåäåíèå

"Èíòåëëåêòóàëüíûé" - ýòî ñëîâî ÷àñòî ìîæíî óñëûøàòü â ðåêëàìå íîâûõ òîâàðîâ. Íî çà÷àñòóþ äàííûé òåðìèí èñïîëüçóþò â ðåêëàìíûõ öåëÿõ, íåâåðíî íàçûâàÿ "èíòåëëåêòóàëüíûì" ëþáîå ñëîæíîå âûñîêîòåõíîëîãè÷íîå èçäåëèå. Ìåæäó òåì óñòðîéñòâî ÿâëÿåòñÿ äåéñòâèòåëüíî èíòåëëåêòóàëüíûì, ëèøü åñëè îíî ñïîñîáíî ðåàãèðîâàòü íà èçìåíåíèå âíåøíèõ óñëîâèé. Ïîä èçìåíåíèåì âíåøíèõ óñëîâèé ìû ïîíèìàåì èçìåíåíèå ïðèðîäíûõ óñëîâèé, óñëîâèé ýêñïëóàòàöèè èëè, ñêàæåì, ïåðåìåùåíèå êîíñòðóêöèè â ïðîñòðàíñòâå. À ðåàêöèåé ÿâëÿåòñÿ èçìåíåíèå ôóíêöèîíàëüíûõ õàðàêòåðèñòèê óñòðîéñòâà.

Óñòðîéñòâà, "÷óâñòâóþùèå" âíåøíèå óñëîâèÿ è ñïîñîáíûå èçìåíÿòü ñâîè õàðàêòåðèñòèêè, èìåþò ìíîæåñòâî ïðåèìóùåñòâ ïî ñðàâíåíèþ ñ îáû÷íûìè óñòðîéñòâàìè: îíè ýôôåêòèâíåå, ìåäëåííåå èçíàøèâàþòñÿ è èìåþò ìåíüøèå ýêñïëóàòàöèîííûå çàòðàòû.


ÃËÀÂÀ 1.

1.1. Ñèñòåìû äàò÷èêîâ

Ñèñòåìà äàò÷èêîâ èëè ñåíñîðîâ - ýòî "íåðâíàÿ ñèñòåìà" èíòåëëåêòóàëüíîé ñòðóêòóðû. Îíà êîíòðîëèðóåò ñîñòîÿíèå êîíñòðóêöèè, îïðåäåëÿåò óðîâåíü ìåõàíè÷åñêîé íàãðóçêè è äðóãèõ ôèçè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ.  èäåàëå äàò÷èêè äîëæíû îáíàðóæèâàòü ëþáûå èçìåíåíèÿ êîíòðîëèðóåìûõ ïàðàìåòðîâ âî âñåõ ÷àñòÿõ ñòðóêòóðû. Ñòðåìÿñü ê ýòîé öåëè, ìíîãèå èññëåäîâàòåëè ðàçðàáàòûâàþò êîíñòðóêöèè, ïîäîáíûå ñóùåñòâóþùèì â ïðèðîäå "áèîëîãè÷åñêèì ìîäåëÿì" èíòåëëåêòóàëüíûõ ñòðóêòóð. Âïðî÷åì, äàæå â ïðèðîäíûõ ñèñòåìàõ ñåíñîðû, êàê ïðàâèëî, ñîñðåäîòî÷åíû ïðåèìóùåñòâåííî ëèøü â íåêîòîðûõ ñïåöèôè÷åñêèõ îáëàñòÿõ, êîòîðûå áûëè îïðåäåëåíû çà ìíîãèå ïîêîëåíèÿ ýâîëþöèè.

Ðàçðàáîò÷èê èíòåëëåêòóàëüíîé ñòðóêòóðû, î÷åâèäíî, äîëæåí ïîñòóïàòü àíàëîãè÷íî è êîíöåíòðèðîâàòü äàò÷èêè â åå íàèáîëåå óÿçâèìûõ ÷àñòÿõ. Ýòî - ñóùåñòâåííàÿ îñîáåííîñòü ïðîåêòèðîâàíèÿ èíòåëëåêòóàëüíîé ñèñòåìû. Àëãîðèòì ñîçäàíèÿ èíòåëëåêòóàëüíîé ñèñòåìû äîëæåí èñïîëüçîâàòü è èíòóèöèþ ïðîåêòèðîâùèêà, è íàêîïëåííûé ðàíåå îïûò. Ïîäîáíî åñòåñòâåííîìó îòáîðó â Ïðèðîäå, ïðîèñõîäèò ïîñòåïåííîå ðàçâèòèå èíòåëëåêòóàëüíûõ êîíñòðóêöèé, è ïîñëåäóþùèå èõ ïîêîëåíèÿ ìîãóò çíà÷èòåëüíî îòëè÷àòüñÿ îò ïðåäûäóùèõ.

Äàííàÿ ãëàâà ïîñâÿùåíà îáùèì ïðèíöèïàì ôóíêöèîíèðîâàíèÿ ñèñòåìû äàò÷èêîâ, à íå ïðèíöèïàì ðàçðàáîòêè êîíêðåòíûõ äàò÷èêîâ. Ïîñëåäíÿÿ çàäà÷à, êàê ïðàâèëî, ðåøàåòñÿ ñðàâíèòåëüíî ëåãêî. Î÷åâèäíî, äàò÷èêè íåîáõîäèìî ðàçìåùàòü â ìåñòàõ, â êîòîðûõ ìàêñèìàëüíû ìåõàíè÷åñêèå íàãðóçêè, ñêà÷êè òåìïåðàòóðû èëè âîçäåéñòâèå àãðåññèâíîé õèìè÷åñêîé ñðåäû.  íàñòîÿùåå âðåìÿ ïðîèñõîäèò ïîñòåïåííàÿ èíòåãðàöèÿ ïðîöåññîâ ïðîåêòèðîâàíèÿ è êîíòðîëÿ, è â èäåàëå ïðîöåäóðà óñòàíîâêè äàò÷èêîâ äîëæíà ñòàòü ÷àñòüþ êîìïëåêñíîé çàäà÷è êîíñòðóèðîâàíèÿ è ìîíèòîðèíãà ìåõàíè÷åñêèõ è äðóãèõ ñâîéñòâ ñèñòåìû. Âïðî÷åì, íûíåøíèå òåõíîëîãèè îò ýòîãî åùå âåñüìà äàëåêè.

1.2. Òðåáîâàíèÿ ê ñèñòåìàì äàò÷èêîâ â èíòåëëåêòóàëüíûõ ñòðóêòóðàõ

Ïîëíàÿ õàðàêòåðèçàöèÿ êîíòðîëèðóåìîé ñòðóêòóðû òîëüêî ñ ïîìîùüþ ñåòè ñåíñîðîâ íåâîçìîæíà. Äåéñòâèòåëüíî, â ëþáîé èçìåðèòåëüíîé ñèñòåìå âñåãäà èìååòñÿ øóì. Îøèáêè ìîãóò áûòü óìåíüøåíû, åñëè èñïîëüçîâàòü ôèëüòðû èëè óñðåäíÿòü ðåçóëüòàòû áîëüøîãî êîëè÷åñòâà èçìåðåíèé. Îäíàêî ïîëíîñòüþ èçáàâèòüñÿ îò íèõ íåëüçÿ. Êðîìå òîãî, íåèçáåæíî ïîÿâëÿåòñÿ ïðîáëåìà îáðàáîòêè îãðîìíîãî êîëè÷åñòâà äàííûõ.  èäåàëå îáúåì ïîëó÷àåìûõ äàííûõ äîëæåí àäåêâàòíî îïèñûâàòü êîíòðîëèðóåìûå ïàðàìåòðû âî âñåõ ÷àñòÿõ ãåîìåòðè÷åñêè ñëîæíîé ñòðóêòóðû; êðîìå òîãî, èõ äîëæíî áûòü äîñòàòî÷íî äëÿ ñîçäàíèÿ óäîâëåòâîðèòåëüíîé ìîäåëè ñèñòåìû. Îäíàêî ñ óñëîæíåíèåì ñèñòåìû áûñòðî ðàñòåò îáúåì èíôîðìàöèè, îñîáåííî åñëè ñëåäèòü çà èçìåíåíèåì âåëè÷èíû ñèãíàëà âî âðåìåíè. Òàê, äëÿ çàïèñè äàííûõ î ïîâåäåíèè êîíñòðóêöèè íåáîëüøîãî ñàìîëåòà â òå÷åíèå ëèøü îäíîé ñåêóíäû íåîáõîäèì îáúåì íåñêîëüêèõ ÑD-RÎÌîâ. Äàæå åñëè áû ýòî áûëî ðåàëüíî, ïðîàíàëèçèðîâàòü ñòîëüêî èíôîðìàöèè âðÿä ëè âîçìîæíî. Êðîìå òîãî, òàêàÿ ñèñòåìà äàò÷èêîâ èìåëà áû çíà÷èòåëüíûé âåñ è ïîòðåáëÿëà ìíîãî ýíåðãèè.

Òàêèì îáðàçîì, ìû äîëæíû ñîçäàòü ñèñòåìó ñåíñîðîâ, óäîâëåòâîðÿþùóþ íåêîòîðûì ìèíèìàëüíûì òðåáîâàíèÿì. Ïðîöåññ àíàëèçà èíôîðìàöèè ìîæíî ðàçäåëèòü íà äâå ñòàäèè. Äëÿ íà÷àëà íóæíî óñòàíîâèòü, íàäåæåí ëè ðåçóëüòàò èçìåðåíèÿ è íå ïðîòèâîðå÷èò ëè îí íåêîòîðûì êðèòåðèÿì îöåíêè òî÷íîñòè. Âòîðàÿ ñòàäèÿ ñîñòîèò â îïðåäåëåíèè âåëè÷èíû âíåøíåãî âîçäåéñòâèÿ è ïðèíÿòèÿ ðåøåíèÿ, íóæíî ëè íà íåãî ðåàãèðîâàòü. Äëÿ ýòîãî, âî-ïåðâûõ, íåîáõîäèìî èìåòü ñèñòåìó ðåàãèðîâàíèÿ. Âî-âòîðûõ, íåîáõîäèìî èçìåðÿòü ñëåäóþùèå âèäû âîçäåéñòâèÿ:

- ìåõàíè÷åñêèå íàãðóçêè;

- òåïëîâîå âîçäåéñòâèå, ñâÿçàííîå ñ èçìåíåíèåì òåìïåðàòóðû. Îíî ìîæåò èíèöèèðîâàòü ïîÿâëåíèå ìåõàíè÷åñêèõ íàïðÿæåíèé è âåñòè ê èçìåíåíèþ ìåõàíè÷åñêîé ïðî÷íîñòè;

- õèìè÷åñêîå âîçäåéñòâèå, ñâÿçàííîå è èçìåíåíèåì ðÍ ñðåäû, óòå÷êîé õèìè÷åñêè àêòèâíûõ âåùåñòâ, ïðèñóòñòâèåì âîäû è ò.ä.

Âî âñåõ ñëó÷àÿõ ñèñòåìà äîëæíà àäåêâàòíî ðåàãèðîâàòü, ÷òî ñõåìàòè÷åñêè èëëþñòðèðóåòñÿ íà ðèñ.2.2.

Òåõíè÷åñêèå òðåáîâàíèÿ ê òî÷íîñòè èçìåíåíèé îïðåäåëÿþòñÿ äîâîëüíî ïðîñòî. Îáû÷íî èçìåðåíèÿ óäëèíåíèÿ ñ òî÷íîñòüþ 10 ìê è òåìïåðàòóðû ñ òî÷íîñòüþ äî äåñÿòîé äîëè ãðàäóñà Öåëüñèÿ âïîëíå äîñòàòî÷íî, ïîñêîëüêó òèïè÷íûå çíà÷åíèÿ óäëèíåíèÿ ðàâíû íåñêîëüêèì ìèëëèìåòðàì, à ðàáî÷èé äèàïàçîí òåìïåðàòóð ëåæèò â ïðåäåëàõ îò - 50 äî +150°Ñ. Èìåþòñÿ, êîíå÷íî, è èñêëþ÷åíèÿ, êàê â ñëó÷àå ãàçîâûõ òóðáèí è íåôòÿíûõ ñêâàæèí.  òàêèõ ñëó÷àÿõ ïðåäåëû èçìåðåíèé è èõ òî÷íîñòü óñòàíàâëèâàþòñÿ èíäèâèäóàëüíî. Íî îáû÷íî ïîäõîäèò ñòàíäàðòíûé äèàïàçîí òåìïåðàòóð. Åñòü è åùå îäèí ìîìåíò, ñâÿçàííûé ñ ïðîäîëæèòåëüíîñòüþ êîíòðîëÿ êîíñòðóêöèè è, ñîîòâåòñòâåííî, ïðîäîëæèòåëüíîñòüþ èçìåðåíèé. Çäåñü ðàçëè÷èÿ ìîãóò áûòü îãðîìíûìè. Íåêîòîðûå êîíñòðóêöèè, íàïðèìåð êîðïóñà ðàêåò, ôóíêöèîíèðóþò ëèøü íåñêîëüêî ìèíóò.ä.ðóãèå æå êîíñòðóêöèè äîëæíû ðàáîòàòü äåñÿòèëåòèÿ.


Ïîìèìî èçìåðåíèÿ ìåõàíè÷åñêèõ íàãðóçîê, íåîáõîäèìî êîíòðîëèðîâàòü ñòåïåíü èçíîøåííîñòè êîíñòðóêöèè. Òàêèå èñïûòàíèÿ äîëæíû ïðîâîäèòüñÿ ïðè îòñóòñòâèè êàêèõ-ëèáî íàãðóçîê, â òîì ÷èñëå è òåìïåðàòóðíûõ. Èçìåðåíèÿ íóæíî ïðîâîäèòü ïðè ôèêñèðîâàííîé òåìïåðàòóðå, èëè, ïî êðàéíåé ìåðå, åå èçìåíåíèå äîëæíî áûòü ó÷òåíî. Ñîîòâåòñòâåííî, èçìåðÿòüñÿ äîëæíû êàê ÷èñòî ìåõàíè÷åñêèå íàïðÿæåíèÿ, òàê è òåïëîâûå ýôôåêòû.

 ïîñëåäíèå ãîäû áûë äîñòèãíóò çíà÷èòåëüíûé ïðîãðåññ â ðàçâèòèè ñèñòåì èçìåðåíèÿ è àíàëèçà ìåõàíè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ, íî ñîâåðøåíñòâîâàíèå ñàìèõ ñåíñîðîâ è ìåòîäîâ èõ âêëþ÷åíèÿ â êîíòðîëèðóåìûå ñòðóêòóðû íåîáõîäèìî ïðîäîëæàòü. Èíàÿ ñèòóàöèÿ íàáëþäàåòñÿ â îáëàñòè êîíòðîëÿ õèìè÷åñêèõ âîçäåéñòâèé. Ýòî ñâÿçàíî ñ òåì, ÷òî áîëüøèíñòâî õèìè÷åñêèõ ðåàêöèé íåîáðàòèìî, è ïîýòîìó ðåçóëüòàòû èçìåðåíèé ïîñòîÿííî èçìåíÿþòñÿ (ðèñ.2.3). Áèîëîãè÷åñêèå ñèñòåìû ñïðàâëÿþòñÿ ñ ýòîé ïðîáëåìîé ïóòåì íåïðåðûâíîé ðåãåíåðàöèè ñåíñîðíûõ êëåòîê, íî èõ èñêóññòâåííûå àíàëîãè åùå íå èçîáðåòåíû. Ðåàãåíòû áûñòðî çàãðÿçíÿþòñÿ è òðåáóþò çàìåíû, ïîñêîëüêó â ïðîòèâíîì ñëó÷àå ïîëó÷åííûå ðåçóëüòàòû áóäóò íåòî÷íûìè. Ñêîðîñòü õèìè÷åñêèõ ðåàêöèé î÷åíü ÷óâñòâèòåëüíà ê èçìåíåíèþ òåìïåðàòóðû. Ýòè ïðîáëåìû åùå íå ðåøåíû, è ïîýòîìó â äàëüíåéøåì ìû ñîñðåäîòî÷èìñÿ íà êîíòðîëå ôèçè÷åñêèõ, à íå õèìè÷åñêèõ âîçäåéñòâèé.

1.3. Äàò÷èêè

2.3.1. Îïòîâîëîêîííûå äàò÷èêè

Èñïîëüçîâàíèå îïòîâîëîêîííûõ äàò÷èêîâ ÿâëÿåòñÿ îäíèì èç íàèáîëåå ïåðñïåêòèâíûõ íàïðàâëåíèé ðàçâèòèÿ èíòåëëåêòóàëüíûõ ñòðóêòóð. Âîëîêîííûå äàò÷èêè îáåñïå÷èâàþò íîâûé óðîâåíü èíòåãðàöèè ñåíñîðíîé ñèñòåìû è êîíòðîëèðóåìîé ñòðóêòóðû. Îíè ïîçâîëÿþò îáúåäèíèòü äàò÷èê ñî ñòðóêòóðîé; ïðè ýòîì âîëîêíî ÷àñòî ââîäèòñÿ âíóòðü ñòðóêòóðû, à íå íà åå ïîâåðõíîñòü. Ê òîìó æå îïòîâîëîêîííûå ñèñòåìû ïîçâîëÿþò ñîçäàòü ïðîñòóþ ñõåìó âîëîêîííîé ñåòè, îõâàòûâàþùåé âñå èçäåëèå, ÷òî íåâîçìîæíî äðóãèìè ìåòîäàìè. Îäíî âîëîêíî ìîæåò îáåñïå÷èòü êîíòðîëü â äåñÿòêàõ è äàæå ñîòíÿõ òî÷åê âäîëü ñâîåé äëèíû, òàêèì îáðàçîì óñòðàíèâ íåîáõîäèìîñòü èñïîëüçîâàíèÿ ñëîæíîé ýëåêòðîííîé ñèñòåìû ñâÿçè (ðèñ.2.7).

Èç ìíîãèõ âîçìîæíîñòåé èñïîëüçîâàíèÿ îïòè÷åñêèõ âîëîêîí äëÿ èçìåðåíèé íàèáîëüøåå ðàçâèòèå ïîëó÷èëè âîëîêîííûå äèôðàêöèîííûå ðåøåòêè (ÂÄÐ.). Îñíîâíàÿ èäåÿ ýòîé ìåòîäèêè ñîñòîèò â ñîçäàíèè ïåðèîäè÷åñêîé ðåøåòêè âäîëü îñè âîëîêíà. Äëèíà ðåøåòêè ìîæåò äîñòèãàòü 10000 äëèí ñâåòîâîé âîëíû. Îíà ïðèâîäèò ê èíòåðôåðåíöèîííûì ÿâëåíèÿì, îáóñëîâëåííûìè îòðàæåíèåì ñâåòà îò åå øòðèõîâ. Øèðèíà ïîëîñû îòðàæåííîãî íàçàä ñèãíàëà îáû÷íî ðàâíà ïðèáëèçèòåëüíî 0,01% èñõîäíîé øèðèíû ñèãíàëà (ðèñ.2.8). Ïðè äëèíå ñâåòîâîé âîëíû 1,5 ìêì ðàññòîÿíèå ìåæäó ñîîòâåòñòâóþùèìè èíòåðôåðåíöèîííûìè ìàêñèìóìàìè ðàâíî ïðèáëèçèòåëüíî 0,15 íì. Ïåðèîä ðåøåòêè çàâèñèò îò òåìïåðàòóðû è äåôîðìàöèè, ÷òî ïðèâîäèò ê ñäâèãó ïîëîæåíèÿ èíòåðôåðåíöèîííûõ ìàêñèìóìîâ. Èçìåðåíèå ñîîòâåòñòâóþùåãî ñäâèãà äëèíû âîëíû äàåò ïðîñòîé òåõíè÷åñêèé ìåòîä îïðåäåëåíèÿ ïåðèîäà ðåøåòêè. Ïîñëå ýòîãî íåîáõîäèìî îïðåäåëèòü, îáóñëîâëåíî ëè èçìåíåíèå ïåðèîäà ðåøåòêè òåìïåðàòóðíûì ðàñøèðåíèåì èëè ìåõàíè÷åñêèìè íàãðóçêàìè. Äëÿ èçìåðåíèÿ äåôîðìàöèè ðåçóëüòàòû îáû÷íî ñðàâíèâàþò ñ äàííûìè âòîðîé (êîíòðîëüíîé) âîëîêîííîé ðåøåòêè, â êîòîðîé â òî÷êå èçìåðåíèÿ îòñóòñòâóþò íàïðÿæåíèÿ. Äèíàìè÷åñêèå äåôîðìàöèè èçìåðÿþò èñõîäÿ èç èçìåíåíèÿ äëèíû îòðàæåííîé âîëíû. Ïðè ýòîì çà ïåðèîä êîëåáàíèé ñòðóêòóðû íå äîëæíà èçìåíÿòüñÿ òåìïåðàòóðà.

Ðàññòîÿíèå ìåæäó øòðèõàìè äèôðàêöèîííîé ðåøåòêè ìîæíî èçìåíÿòü. Åñëè ïî äëèíå âîëîêíà íàíåñåíî íåñêîëüêî ðåøåòîê ñ ðàçëè÷íûì ðàññòîÿíèåì ìåæäó øòðèõàìè, òî îäíî âîëîêíî ìîæåò äàòü èíôîðìàöèþ î äåôîðìàöèè ñòðóêòóðû ñðàçó â íåñêîëüêèõ òî÷êàõ. Äëÿ ýòîãî â âîëîêíî íóæíî ââåñòè øèðîêèé ñïåêòð ñâåòà è ðåãèñòðèðîâàòü îòðàæåííûé ñïåêòð, â êîòîðîì îïðåäåëåííàÿ äëèíà âîëí ñîîòâåòñòâóåò íåêîòîðîé òî÷êå ïî äëèíå âîëîêíà. Äëÿ îáðàùåíèÿ ê ðàçëè÷íûì âîëîêíàì îáû÷íî èñïîëüçóþò ïåðåêëþ÷àòåëü.

Ïðåèìóùåñòâà èñïîëüçîâàíèÿ ÂÄÐ î÷åâèäíû. Ïåðèîä ðåøåòêè ìîæåò áûòü âû÷èñëåí èñõîäÿ èç äëèíû îòðàæåííîé âîëíû, êîòîðàÿ îäíîçíà÷íî îïðåäåëÿåòñÿ è íå çàâèñèò îò èíòåíñèâíîñòè èçëó÷åíèÿ èëè ÷óâñòâèòåëüíîñòè äåòåêòîðà. Âîëîêíî ëåãêî ïðèêðåïèòü ê ïîâåðõíîñòè èëè ââåñòè â ñòðóêòóðó êîíñòðóêöèè, è ýòî âñå, ÷òî íóæíî äëÿ óñòàíîâêè äàò÷èêà. Äèôðàêöèîííûå ðåøåòêè èìåþò è íåäîñòàòêè. Íàïðèìåð, äëÿ íèõ òðåáóåòñÿ âûñîêàÿ òî÷íîñòü èçìåðåíèÿ è êàëèáðîâêè äëèíû ñâåòîâîé âîëíû.


Ýòà çàäà÷à óñëîæíÿåòñÿ ïðèñóòñòâèåì ïîìåõ. Êðîìå òîãî, íåîáõîäèìî ñòàáèëèçèðîâàòü òåìïåðàòóðó, êàëèáðîâàòü ðåøåòêè â îòñóòñòâèå äåôîðìàöèè, êàëèáðîâàòü íåçàâèñèìûé èñòî÷íèê ñâåòà òèïà ãåëèé-íåîíîâîãî ëàçåðà, ðàáîòàþùåãî âáëèçè êðàÿ ÈÊ-îáëàñòè. Ñòàáèëüíîñòü äëèíû èçìåðÿåìîé âîëíû äîëæíà áûòü íå íèæå ±0,1 íì âî âñåì ðàáî÷åì äèàïàçîíå. Äëèíó âîëíû ìîæíî îïðåäåëÿòü ðàçëè÷íûìè ìåòîäàìè, è íàèáîëåå øèðîêî äëÿ ýòîãî èñïîëüçóþò èíòåðôåðîìåòð Ôàáðè - Ïåðî. Èñïîëüçóþò è íàñòðàèâàåìûå àêóñòîîïòè÷åñêèå ñèñòåìû äåòåêöèè è äèñïåðñèîííûå èíòåðôåðîìåòðû. Ïî ñóòè, äåøèôðàòîð ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé óïðîùåííûé ñïåêòðîìåòð. Íàèáîëåå ñóùåñòâåííûì íåäîñòàòêîì äåøèôðàòîðîâ äëÿ âîëîêîííûõ ðåøåòîê ÿâëÿåòñÿ èõ áîëüøàÿ ñòîèìîñòü. Åñòü òàêæå è ÷èñòî òåõíè÷åñêèå ñëîæíîñòè, ñâÿçàííûå ñ íåîáõîäèìîñòüþ ñòàáèëèçàöèè òåìïåðàòóðû. Ñëîæíîñòü ðåøåíèÿ ýòîé çàäà÷è çàâèñèò îò òðåáóåìîé òî÷íîñòè èçìåðåíèé.  ñàìîì äåëå, èçìåíåíèå òåìïåðàòóðû íà ÃÑ ïðèâîäèò ê äåôîðìàöèè ìàòåðèàëà, ðàâíîé ïðèìåðíî 10~5. Ïîýòîìó â áîëüøèíñòâå ñëó÷àåâ, êîãäà íåîáõîäèìî èçìåðÿòü ñòàòè÷åñêèå äåôîðìàöèè, â äîïîëíåíèå ê êàðòå ðàñïðåäåëåíèÿ äåôîðìàöèé ñîñòàâëÿåòñÿ êàðòà òåìïåðàòóð. Áëàãîäàðÿ ýòîìó âñåãäà ìîæíî îïðåäåëèòü, ñâÿçàíî ëè èçìåíåíèå äåôîðìàöèè ñ òåìïåðàòóðîé èëè ñ íàãðóçêîé. Ìîíòàæ âîëîêîííûõ ñåíñîðîâ äîëæåí ïðîâîäèòüñÿ òàêèì îáðàçîì, ÷òîáû èçáåæàòü ïîïàäàíèå íà ðåøåòêó âëàãè è îáåñïå÷èòü åå êîíòàêò ñî ñòðóêòóðîé. Íà ïðîòÿæåíèè ìíîãèõ ëåò ïîêà âîëîêíà ââîäèëè â ñòðóêòóðó âðó÷íóþ ýòî áûëî ïðîáëåìîé. Ëèøü íåäàâíî áûë èçîáðåòåí òåõíîëîãè÷åñêèé ïðîöåññ, îáëåã÷èâøèé ðåøåíèå ýòîé çàäà÷è.

Êàê óæå áûëî ñêàçàíî, åñòü íåñêîëüêî ïðàêòè÷åñêèõ ïðèìåíåíèé ÂÄÐ. Íàïðèìåð, èõ ââîäÿò â îñíîâàíèå ìà÷ò äîðîãèõ ãîíî÷íûõ ÿõò. Òàêèå ìà÷òû èçãîòàâëèâàþò èç âîëîêíèñòûõ êîìïîçèòîâ, à ñåíñîðû ïîçâîëÿþò îïðåäåëèòü íàãðóçêè è ñòåïåíü ïîâðåæäåííîå™ ìà÷òû. ÂÄÐ ïðèìåíÿþò òàêæå äëÿ êîíòðîëÿ ïîâåäåíèÿ ìîñòîâ è äàìá, ñòàðûõ çäàíèé è êîðïóñîâ ñêîðîñòíûõ ìîðñêèõ êîðàáëåé.

Îïòè÷åñêîå âîëîêíî ïîçâîëÿåò ïðîâåñòè èçìåðåíèÿ â îäíîé òî÷êå, â íåñêîëüêèõ òî÷êàõ èëè ïîëó÷èòü ñðåäíåå çíà÷åíèå èçìåðÿåìîãî ïàðàìåòðà ïî âñåé äëèíå âîëîêíà. Ðàñïðåäåëåííûå èçìåðåíèÿ îáëåã÷àþò ìîíèòîðèíã èçìåðÿåìîé âåëè÷èíû.  ýòîì ñëó÷àå èñêîìàÿ âåëè÷èíà ðàññìàòðèâàåòñÿ êàê ôóíêöèÿ îò äëèíû, à ïðîñòðàíñòâåííîå ðàçðåøåíèå îáû÷íî èìååò ïîðÿäîê íåñêîëüêèõ ìåòðîâ. Äèàïàçîí òàêèõ èçìåðåíèé ñîñòàâëÿåò íåñêîëüêî äåñÿòêîâ êèëîìåòðîâ, è ýòî äåéñòâèòåëüíî óíèêàëüíàÿ îñîáåííîñòü îïòîâîëîêîííîé òåõíîëîãèè; íèêàêîé äðóãîé ìåòîä èçìåðåíèé òàêîé âîçìîæíîñòè íå èìååò. Óñðåäíåííûå èçìåðåíèÿ ôàêòè÷åñêè äàþò ñðåäíåå çíà÷åíèå âåëè÷èíû ïî âñåé äëèíå îïòè÷åñêîãî ïîëîòíà. Ýòîò ìåòîä îïðåäåëÿåòñÿ ñïîñîáíîñòüþ âîëîêíà äàâàòü óñðåäíåííóþ èíôîðìàöèþ. Òàêóþ ñïîñîáíîñòü èìåþò è äðóãèå ìåòîäû èçìåðåíèÿ, íî ñ ó÷åòîì îáùåé äëèíû è äèàïàçîíà èçìåðåíèé äàííûé ìåòîä óíèêàëåí è â ýòîì îòíîøåíèè.

Îáëàñòü ïðèìåíåíèÿ îïòîâîëîêîííûõ ìåòîäîâ èçìåðåíèÿ äîâîëüíî øèðîêà. Îíè îñîáåííî ïîëåçíû, êîãäà òðåáóåòñÿ âûáîðêà ïî øèðîêîìó äèàïàçîíó äàííûõ, à èçìåðåíèÿ ïðîâîäÿòñÿ íà áîëüøîé äëèíå. ×òîáû ïîÿñíÿòü ýòî, ðàññìîòðèì òðè ïðèìåðà.

 ãðàæäàíñêîì ñòðîèòåëüñòâå ÷àñòî íåîáõîäèìà èíôîðìàöèÿ î ñóììàðíîì óäëèíåíèè êîíñòðóêöèè íà áàçå íåñêîëüêèõ ìåòðîâ. Òåíçîìåòð èëè áðýããîâñêàÿ ðåøåòêà èçìåðÿþò ëèøü ëîêàëüíûå óäëèíåíèÿ. Îíè íå äàþò âîçìîæíîñòè îöåíèòü âñþ ñèòóàöèþ, òàê êàê òðåùèíû è äðóãèå êîíöåíòðàòîðû íàïðÿæåíèÿ âëèÿþò íà ìåñòíóþ âåëè÷èíó íàïðÿæåíèÿ. Ïðè ýòîì âîëîêîííûå ìåòîäû èìåþò òî÷íîñòü ïîðÿäêà íåñêîëüêèõ ìèêðîí ïðè áàçå èçìåðåíèÿ â äåñÿòêè ìåòðîâ.  Åâðîïå òàêèå ñèñòåìû áûëè óñòàíîâëåíû â íåñêîëüêèõ òûñÿ÷àõ çäàíèé, è îíè äàþò èíôîðìàöèþ îá èçìåíåíèè äåôîðìàöèè (ðèñ.2.9).

Èõ èñïîëüçóþò, íàïðèìåð, äëÿ êîíòðîëÿ äîïîëíèòåëüíîé íàãðóçêè íà ïîëîòíî àâòîäîðîãà, îáóñëîâëåííîé ñòðîèòåëüñòâîì ìîñòà, äëÿ èññëåäîâàíèÿ ðîñòà òðåùèí â äðåâíèõ öåðêâÿõ, äëÿ îöåíêè ñòåïåíè ñîõðàííîñòè äàìá è òä. Ýòà ñèñòåìà ðàáîòàåò íà î÷åíü ïðîñòîì îïòè÷åñêîì ìåòîäå, à èìåííî èíòåðôåðîìåòðèè áåëîãî öâåòà. Äëÿ ýòîãî ïðè ïîìîùè âîëîêîííîãî èíòåðôåðîìåòðà èçìåðÿåòñÿ ðàçíîñòü îïòè÷åñêîãî ïóòè ìåæäó èçìåðèòåëüíûì âîëîêíîì è òåðìîñòàáèëèçèðîâàííûì êîíòðîëüíûì âîëîêíîì. Òî÷íîñòü èçìåðåíèÿ ïðè ýòîì îãðàíè÷åíà äëèíîé ñâåòîâîé âîëíû. Èçìåíåíèå ïîëîæåíèÿ íåñêîëüêèõ ñîñåäíèõ èíòåðôåðåíöèîííûõ ìàêñèìóìîâ âîçíèêàåò èç-çà ìåõàíè÷åñêîé äåôîðìàöèè âîëîêíà. Èçìåðåíèÿ â òå÷åíèå íåñêîëüêèõ ëåò ïîäòâåðäèëè îáùóþ óñòîé÷èâîñòü ñèñòåì, äåôîðìàöèÿ êîòîðûõ íå ïðåâûøàëà íåñêîëüêèõ ìèêðîí.

Áðèëëþýíîâñêàÿ äèôðàêöèÿ ñâåòà íà àêóñòè÷åñêîé âîëíå ÿâëÿåòñÿ íåëèíåéíûì ýôôåêòîì. Ãëàâíîé îñîáåííîñòüþ áðèëëþýíîâñêîãî ðàññåÿíèÿ ÿâëÿåòñÿ ÷åòêàÿ ñâÿçü ìåæäó ñäâèãîì ÷àñòîòû îòðàæåííîé íàçàä ñâåòîâîé âîëíû è äëèíîé àêóñòè÷åñêîé âîëíû. Àêóñòè÷åñêàÿ âîëíà ïðåäñòàâëÿåò ñîáîé ôàçîâóþ äèôðàêöèîííóþ ðåøåòêó.  ôàçîâîé ðåøåòêå ïåðèîä äèôðàãèðîâàííîé ñâåòîâîé âîëíû ðàâåí ïîëîâèíå äëèíû àêóñòè÷åñêîé âîëíû (ðèñ.2.10). Äëÿ áîëüøèíñòâà îïòè÷åñêèõ âîëîêîí, ðàáîòàþùèõ âáëèçè èíôðàêðàñíîãî êðàÿ èçëó÷åíèÿ, ñäâèã ïî ÷àñòîòå ðàâåí 12-15 ÃÃö. Èç âåëè÷èíû ñäâèãà è äëèíû îïòè÷åñêîé âîëíû ìîæíî î÷åíü òî÷íî îïðåäåëèòü ñêîðîñòü àêóñòè÷åñêîé âîëíû. Ñäâèã ÷àñòîòû èçìåíÿåòñÿ ïî äëèíå âîëîêíà, è ïîýòîìó â êîíå÷íîì ñ÷åòå ìîæíî âû÷èñëèòü çàâèñèìîñòü ñêîðîñòè çâóêà îò äëèíû. Èçâåñòíî, ÷òî ñêîðîñòü ïðîäîëüíîé àêóñòè÷åñêîé âîëíû îïðåäåëÿåòñÿ ìîäóëåì Þíãà, ïëîòíîñòüþ è ëîêàëüíîé äåôîðìàöèåé, ïðè÷åì ïåðâûå äâå õàðàêòåðèñòèêè çàâèñÿò îò òåìïåðàòóðû.  ðåçóëüòàòå ìû ïîëó÷àåì êàðòó, îïèñûâàþùóþ òåìïåðàòóðó è äåôîðìàöèþ âîëîêíà. Äîñòîèíñòâîì ýòîé ìåòîäèêè ÿâëÿåòñÿ òî, ÷òî äëèíà êîíòðîëèðóåìîé îáëàñòè ìîæåò äîñòèãàòü ìíîãèõ êèëîìåòðîâ.


Îíà ïîçâîëÿåò, íàïðèìåð, êîíòðîëèðîâàòü óñòîé÷èâîñòü ãðóíòà â ñåéñìîîïàñíûõ îáëàñòÿõ èëè îïðåäåëÿòü ñòåïåíü íàäåæíîñòè âûñîêîïðî÷íûõ ìîðñêèõ êàíàòîâ, ïðèìåíÿåìûõ äëÿ êðåïåæà ÿêîðåé è áóêñèðîâêè ñóäîâ (ðèñ.2.11). Áðèëëþýíîâñêèé çîíä îïðåäåëÿåò ñòåïåíü ïîâðåæäåííèÿ êàíàòà, ÷òî ïîçâîëÿåò èçáåæàòü åãî ðàçðóøåíèÿ. Îí òàêæå ïîçâîëÿåò èñïîëüçîâàòü ÿêîðü ìàêñèìàëüíî äîëãî, èçáåãàÿ äîðîãîñòîÿùåé çàìåíû êàíàòà áåç îñîáîé íåîáõîäèìîñòè âî âðåìÿ ïëàíîâîãî òåõíè÷åñêîãî îáñëóæèâàíèÿ.

Èíôîðìàöèÿ, ïîëó÷àåìàÿ ðàñïðåäåëåííûìè äàò÷èêàìè, îñíîâàííûìè íà èíòåðôåðåíöèè ñâåòà, íàõîäèò è äðóãèå ïðèìåíåíèÿ. Íàïðèìåð, èçìåðåíèå òåìïåðàòóðû ìåòîäîì ðàìàíîâñêîãî ðàññåÿíèÿ ïîçâîëÿåò îïðåäåëèòü ðàñïðåäåëåíèå òåìïåðàòóðû ïî äëèíå âîëîêíà. Ýòîò ìåòîä èñïîëüçóþò â ïðîìûøëåííûõ ïðîöåññàõ è â ñèñòåìàõ ïîæàðíîé ñèãíàëèçàöèè â òîííåëÿõ.

Âîëîêîííûå ñåíñîðû îñîáåííî óäîáíû, êîãäà òðåáóåòñÿ áîëüøîå êîëè÷åñòâî òî÷åê èçìåðåíèÿ, ðàñïðåäåëåííûõ ïî ðàçëè÷íûì ó÷àñòêàì êîíñòðóêöèè.  êîíå÷íîì ñ÷åòå ãëàâíûì êðèòåðèåì äëÿ èñïîëüçîâàíèÿ âîëîêîí ÿâëÿåòñÿ ñîîòíîøåíèå öåíà/ñâîéñòâà, ó÷èòûâàþùåå ñïåöèôè÷åñêèå îñîáåííîñòè êîíòðîëèðóåìîé êîíñòðóêöèè. Òåõíè÷åñêèå ïàðàìåòðû âîëîêîííûõ äàò÷èêîâ ÷ðåçâû÷àéíî âûñîêè, íî íåìàëîé ÿâëÿåòñÿ è ñòîèìîñòü òàêîãî êîíòðîëÿ, è ïîýòîìó îöåíêà ýôôåêòèâíîñòè èõ ïðèìåíåíèÿ äîñòàòî÷íî ñëîæíà. Òåì íå ìåíåå âî ìíîãèõ ñëó÷àÿõ åãî ïðèìåíåíèå îïðàâäàíî, íåñìîòðÿ íà îòíîñèòåëüíî áîëüøóþ ñòîèìîñòü.

1.3.2. Ìèêðîýëåêòðîìåõàíè÷åñêèå ñèñòåìû


Òåðìèí "ÌÝÌÑ" ïåðåâîäèòñÿ êàê "ìèêðîýëåêòðîìåõàíè÷åñêèå ñèñòåìû". Ê íèì îòíîñÿòñÿ è ìèêðîìåõàíè÷åñêèå äàò÷èêè. Ïî ñóùåñòâó, èõ ïîëó÷åíèå îñíîâàíî íà ìîäèôèêàöèè ìåòîäà ôîòîëèòîãðàôè÷åñêîãî ñîçäàíèÿ ïëîñêèõ è ïðîñòðàíñòâåííûõ ñòðóêòóð. Ôîòîëèòîãðàôèÿ - ýòî öåëàÿ ãðóïïà ïðîöåññîâ, ñðåäè êîòîðûõ åñòü ïðîñòûå òèïà ôîòîêîïèðîâàíèÿ è áîëåå ñëîæíûå, íàïðèìåð ëàçåðíàÿ çàïèñü. Ôîòîêîïèðîâàíèå ïîçâîëÿåò ñîçäàòü íà îáðàáàòûâàåìîì èçäåëèè íåêîòîðóþ ñòðóêòóðó. Îíà ìîæåò áûòü êàê äâóìåðíîé, ò.å. ïðåäñòàâëÿòü ñîáîé íåêîòîðîå èçîáðàæåíèå, òàê è òðåõìåðíîé. Ýòè ñòðóêòóðû îáû÷íî ïîëó÷àþò õèìè÷åñêèì òðàâëåíèåì, îäíàêî èíîãäà èñïîëüçóþò è äîïîëíèòåëüíûå ïðèåìû. Íàïðèìåð, ëàçåðíûé, ýëåêòðîííûé èëè èîííûé ïó÷îê, óñêîðÿþùèé ñêîðîñòü õèìè÷åñêîé ðåàêöèè. Îòìåòèì, ÷òî ñêîðîñòü òðàâëåíèÿ ìîæåò ñèëüíî çàâèñåòü îò íàëè÷èÿ äîïèðóþùèõ äîáàâîê.


Êðîìå òîãî, íà ñêîðîñòü òðàâëåíèÿ ìîãóò âëèÿòü ñâîéñòâà êðèñòàëëè÷åñêîé ïîäëîæêè. Ñïèñîê ñïîñîáîâ òðàâëåíèÿ ìîæíî ïîïîëíèòü âëàæíûì è ñóõèì òðàâëåíèåì, ôîòîïðîöåññàìè è ò.ä. Íà ïðàêòèêå ïîëó÷àåìûå òðàâëåíèåì ñòðóêòóðû îáû÷íî ÿâëÿþòñÿ äâóìåðíûìè è èìåþò áîëüøóþ ïëîùàäü â ïëîñêîñòè ïîäëîæêè ïðè îòíîñèòåëüíî íåáîëüøîé òîëùèíå (ðèñ.2.13).

Îñíîâîé áîëüøèíñòâà ìèêðîìåõàíè÷åñêèõ èçäåëèé ÿâëÿåòñÿ êðåìíèé. Êðåìíèé èìååò ïðåêðàñíûå ìåõàíè÷åñêèå ñâîéñòâà. Îí ïðî÷íåå ñòàëè è èìååò î÷åíü âûñîêóþ òåìïåðàòóðó ïëàâëåíèÿ.  ïîñëåäíåå âðåìÿ ïîÿâèëèñü ïîëèìåðíûå è ìåòàëëè÷åñêèå ÌÝÌÑ-ñòðóêòóðû, íî ïîêà îíè ïî÷òè íå ïðèìåíÿþòñÿ. Ïîòîìó ìû áóäåì ðàññìàòðèâàòü ëèøü êðåìíèåâûå ñèñòåìû.  íàñòîÿùåå âðåìÿ ïðåäïðèíèìàþòñÿ ïîïûòêè îáúåäèíåíèÿ â îäíîì ìèêðî÷èïå ìèíèàòþðíîé ìåõàíè÷åñêîé êîíñòðóêöèè è êðåìíèåâîé ýëåêòðîñõåìû. Ñîçäàòü â îäíîì òåõíîëîãè÷åñêîì ïðîöåññå îäíîâðåìåííî ìèêðîìåõàíè÷åñêóþ êîíñòðóêöèþ è ìèêðîñõåìó óäàåòñÿ î÷åíü ðåäêî. Êàê ïðàâèëî, äâå ÷àñòè äåòàëè äåëàþò â äâóõ òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðîöåññàõ, ïîñëå ÷åãî èõ îáúåäèíÿþò.

Ìåõàíè÷åñêèå äàò÷èêè äîëæíû äàâàòü ýëåêòðè÷åñêèé ñèãíàë. Èìååòñÿ ëèøü íåñêîëüêî ìåõàíè÷åñêèõ ÿâëåíèé, êîòîðûå ìîãóò ñîçäàòü ýëåêòðè÷åñêèé ñèãíàë:

• âçàèìíîå ñìåùåíèå äâóõ ÷àñòåé êîíñòðóêöèè;

• ðåçîíàíñíûå êîëåáàíèÿ ñòðóêòóðû.

Îòìåòèì, ÷òî ñìåùåíèÿ è êîëåáàíèÿ ìîãóò âîçíèêàòü ïðè èçìåíåíèè òåìïåðàòóðû èëè âíåøíåé íàãðóçêè (ðèñ.2.14). Äî ñèõ ïîð âñå îïèñàííûå â ëèòåðàòóðå ìèêðîìåõàíè÷åñêèå äàò÷èêè îñíîâàíû ëèøü íà ýòèõ äâóõ ÿâëåíèÿõ, à èìåííî íà èçìåíåíèè ðåçîíàíñíîé ÷àñòîòû èëè ïîÿâëåíèè ýëåêòðè÷åñêîãî ñèãíàëà ïðè ñìåùåíèè äâóõ ÷àñòåé èçìåðèòåëüíîãî ýëåìåíòà. Èìååòñÿ äâà ïðîöåññà, ïðèâîäÿùèõ ê âîçíèêíîâåíèþ ýëåêòðè÷åñêîãî ñèãíàëà. Ïåðâûé ñîñòîèò â èçìåíåíèè ýëåêòðè÷åñêîãî ñîïðîòèâëåíèÿ òåðìîïàðû ïðè èçìåíåíèè äåôîðìàöèè èëè òåìïåðàòóðû. Ýòîò ïðèíöèï øèðîêî èñïîëüçóþò â ìèêðîìåõàíè÷åñêèõ äàò÷èêàõ óæå áîëåå 20 ëåò. Âòîðîé îñíîâàí íà èçìåíåíèè ýëåêòðè÷åñêîé åìêîñòè äâóõ ïàðàëëåëüíûõ ïëîñêîñòåé, îäíà èç êîòîðûõ ìîæåò ïåðåìåùàòüñÿ.  íåêîòîðûõ ñèòóàöèÿõ äâèæåíèå ìîæåò áûòü îáíàðóæåíî îïòè÷åñêè, ÷òî ïîçâîëÿåò êîìáèíèðîâàòü òåíçîäàò÷èêè è îïòè÷åñêèå âîëîêíà. Õîòÿ ýòîò ìåòîä êàæåòñÿ ïðèâëåêàòåëüíûì, íà ïðàêòèêå îí ïðèìåíÿëñÿ íå ñëèøêîì øèðîêî.

Ïåðâûé øèðîêî èñïîëüçóåìûé ñåíñîð, îñíîâàííûé íà êðåìíèåâîé ÌÝÌÑ, ïðåäñòàâëÿë ñîáîé äèàôðàãìó, íà êðàþ êîòîðîé, ò.å. â îáëàñòè áîëüøèõ äåôîðìàöèé, ðàçìåùàëè ïüåçîðåçèñòîðû. Âî âòîðîì ìåòîäå ê èçìåðèòåëüíîé äèàôðàãìå êðåïèëè ìåõàíè÷åñêèé ðåçîíàòîð â ôîðìå ìîñòîâîé ïåðåìû÷êè, êàê ïîêàçàíî íà ðèñ.2.15. Èçãèá äèàôðàãìû âûçûâàåò èçìåíåíèå ñèëû íàòÿæåíèÿ ïåðåìû÷êè è, êàê ñëåäñòâèå, èçìåíåíèå åå ðåçîíàíñíîé ÷àñòîòû. Ýòî ïîçâîëÿåò äîñòè÷ü áîëåå âûñîêîé òî÷íîñòè è óñòîé÷èâîñòè ðàáîòû èçìåðèòåëüíîãî ýëåìåíòà ïî ñðàâíåíèþ ñ ïüåçîðåçèñòîðíûì ìåòîäîì, ïðè÷åì òåõíîëîãè÷åñêèå ýòàïû åãî ñîçäàíèÿ îñòàþòñÿ ïðàêòè÷åñêè òåìè æå.

Èçìåðåíèåì ðåçîíàíñíîé ÷àñòîòû âèáðàòîðà (ðèñ.2.15) ìîæíî êîíòðîëèðîâàòü ëþáîé âíåøíèé ïàðàìåòð, èçìåíÿþùèé ñèëó ðàñòÿæåíèÿ ïåðåìû÷êè, â òîì ÷èñëå è òåìïåðàòóðó, ïîñêîëüêó ðàçëè÷èå êîýôôèöèåíòîâ òåïëîâîãî ðàñøèðåíèÿ âèáðèðóþùåé ïåðåìû÷êè è îñíîâàíèÿ èçìåíÿåò âåëè÷èíó ðàñòÿãèâàþùåé ñèëû. Ñ äðóãîé ñòîðîíû, ïðè ïðàâèëüíîì âûáîðå ìàòåðèàëîâ ìîæíî ïðàêòè÷åñêè ïîëíîñòüþ èçáàâèòüñÿ îò òåìïåðàòóðíîé ÷óâñòâèòåëüíîñòè äàò÷èêà, ÷òî óâåëè÷èâàåò òî÷íîñòü èçìåðåíèÿ äðóãèõ ôèçè÷åñêèõ ïàðàìåòðîâ. Ïðè ïîìîùè òàêîé ìèêðîñòðóêòóðû ìîæíî èçìåðÿòü ñêîðîñòü ñòðóè ãàçà, äåéñòâóþùåãî íà ìåìáðàíó èëè èçìåðèòåëüíóþ ïåðåìû÷êó. Êðîìå òîãî, èçìåðåíèÿ ìîæíî ïðîâîäèòü, íàíîñÿ íà ïåðåìû÷êó õèìè÷åñêè àêòèâíîå ïîêðûòèå, èçìåíÿþùåå åå ðàçìåðû èëè ìàññó ïîä äåéñòâèåì õèìè÷åñêèõ ðåàêöèé èëè àäñîðáöèè.

Íà öåíòðàëüíóþ îáëàñòü âèáðèðóþùåãî ÷óâñòâèòåëüíîãî ýëåìåíòà ìîæíî ïîìåñòèòü ìàññó.  ðåçóëüòàòå ñèëà íàòÿæåíèÿ ïåðåìû÷êè áóäåò çàâèñåòü îò âåëè÷èíû óñêîðåíèÿ â íàïðàâëåíèè, ïåðïåíäèêóëÿðíîì ïëîñêîñòè ïåðåìû÷êè (ðèñ.2.16). Àêñåëåðîìåòð ìîæåò îïðåäåëÿòü íàïðàâëåíèå óñêîðåíèÿ, åñëè ñäåëàòü ïåðåìû÷êó íàìíîãî áîëåå æåñòêîé â ïåðïåíäèêóëÿðíîì íàïðàâëåíèè. Àêñåëåðîìåòð ìîæíî èñïîëüçîâàòü â ñèñòåìå óïðàâëåíèÿ, ñîçäàâ "îáðàòíóþ ñâÿçü" ñ èñòî÷íèêîì óñêîðÿþùåé ñèëû. Ïðè ýòîì îí ìîæåò èìåòü òàêæå ôîðìó áàëêè. Äîñòîèíñòâîì êðåìíèÿ ÿâëÿåòñÿ èñêëþ÷èòåëüíàÿ ëèíåéíîñòü, áåç ñêîëüêî-íèáóäü ñóùåñòâåííîãî ìåõàíè÷åñêîãî ãèñòåðåçèñà.


Áîëüøîé èíòåðåñ ïðåäñòàâëÿþò òàêæå ÌÝÌÑ íà îñíîâå ãèðîñêîïè÷åñêîãî èçìåðèòåëüíîãî ýëåìåíòà. Ïðèíöèï èõ ðàáîòû îñíîâàí íà äåéñòâèè êîðèîëèñîâîé öåíòðîáåæíîé ñèëû. Ýòà ñèëà ìîäóëèðóåò ðåçîíàíñíóþ ÷àñòîòó êîëåáàíèé âðàùàþùåãîñÿ ýëåìåíòà â ôîðìå êîëüöà èëè áîêàëà (ñêîðîñòü âðàùåíèÿ íóæíî èçìåðèòü). Ñèëà Êîðèîëèñà ïðèâîäèò ê ðàçëè÷íîìó èçìåíåíèþ ðåçîíàíñíûõ ÷àñòîò ïî äâóì íàïðàâëåíèÿì â ïëîñêîñòè âðàùåíèÿ, ïðè÷åì ðàçíîñòü ðåçîíàíñíûõ ÷àñòîò ïðîïîðöèîíàëüíà ñêîðîñòè âðàùåíèÿ. Îäíèì èç äîñòîèíñòâ òàêèõ ãèðîñêîïîâ ÿâëÿåòñÿ îòñóòñòâèå âðàùàþùèõñÿ ïîäøèïíèêîâ. ÌÝÌÑ ñ êîëåáàòåëüíûì ýëåìåíòîì â ôîðìå áîêàëà ðàçðàáàòûâàëè ïî êðàéíåé ìåðå 25 ëåò, íî íåñìîòðÿ íà ýòî îí íå íàøåë øèðîêîãî ïðèìåíåíèÿ äî ñèõ ïîð. Ýòî îáóñëîâëåíî òåì, ÷òî äëÿ ïîëó÷åíèÿ âûñîêîé ÷óâñòâèòåëüíîñòè íåîáõîäèìà ÷ðåçâû÷àéíî âûñîêàÿ òî÷íîñòü ïðîèçâîäñòâà äåòàëåé. Ïðîèçâîäñòâî îñóùåñòâëÿåòñÿ ñ äîïóñêàìè äî ñîòåí èëè äàæå òûñÿ÷ ñëîåâ êðåìíèÿ, íî ÷óâñòâèòåëüíîñòü äàò÷èêà îãðàíè÷åíà ìàëîé ìàññîé. Òåì íå ìåíåå ìèêðîìåõàíè÷åñêèé êðåìíèåâûé ãèðîñêîï åùå íå ðàñêðûë âåñü ñâîé ïîòåíöèàë.

 íàñòîÿùåå âðåìÿ ÌÝÌÑ èñïîëüçóþòñÿ â èíòåëëåêòóàëüíûõ ñòðóêòóðàõ î÷åíü ðåäêî. Ìåæäó òåì îíè èìåþò ìíîæåñòâî äîñòîèíñòâ.  ÷àñòíîñòè, îíè èìåþò ðàçìåðû ïîðÿäêà äîëåé ìèëëèìåòðà è ñïîñîáíû ðàáîòàòü ïðè î÷åíü âûñîêèõ òåìïåðàòóðàõ. Èíôîðìàöèþ ñ íèõ ìîæíî ñ÷èòûâàòü îïòè÷åñêè èëè ïåðåäàâàòü ïî ìèíèàòþðíîìó ýëåêòðîêàíàëó ñâÿçè. Åùå îäíèì èõ ïðåèìóùåñòâîì ÿâëÿåòñÿ âîçìîæíîñòü îáåñïå÷åíèÿ î÷åíü áûñòðîãî ðåàãèðîâàíèÿ, çà âðåìÿ ïîðÿäêà äîëåé ìèêðîñåêóíäû.

Ìîæíî îòìåòèòü, ÷òî ÌÝÌÑ-äàò÷èêè, â îòëè÷èå îò âîëîêîííî-îïòè÷åñêèõ, îñîáåííî óäîáíû äëÿ êîíòðîëÿ ïîâåäåíèÿ íåáîëüøèõ óñòðîéñòâ. Óæå ðåàëèçîâàíû ñèñòåìû, èññëåäóþùèå îòäåëüíûå ó÷àñòêè ïîâåðõíîñòè êðèñòàëëîâ. Ýòî âîçìîæíî áëàãîäàðÿ ìàëîñòè ÌÝÌÑ-äàò÷èêîâ. Îíè ïðèìåíÿþòñÿ è â ìåäèöèíñêèõ öåëÿõ. Òåì íå ìåíåå äî ñèõ ïîð èñïîëüçóåòñÿ ëèøü ìàëàÿ äîëÿ èõ ïîòåíöèàëà, è îáëàñòü øèðîêîãî ïðèìåíåíèÿ ÌÝÌÑ-ñèñòåì åùå íå íàéäåíà. Íàèáîëåå ïåðñïåêòèâíûì âûãëÿäèò èõ ïðèìåíåíèå â ìåäèöèíå, áèîëîãèè, ýêîëîãèè è ïðèçâîäñòâå âûñîêîòî÷íîãî îáîðóäîâàíèÿ.

2.3.3. Ïúåçîêåðàìèêè è ïüåçîýëåêòðè÷åñêèå ïîëèìåðû

 äàò÷èêàõ èç ïüåçîýëåêòðè÷åñêèõ ìàòåðèàëîâ íàïðÿæåíèÿ èëè äåôîðìàöèè ïðèâîäÿò ê ïîÿâëåíèþ ýëåêòðè÷åñêîãî çàðÿäà íà äâóõ ïîâåðõíîñòÿõ, ÷òî ïðîÿâëÿåòñÿ â âèäå ðàçíîñòè ýëåêòðè÷åñêîãî ïîòåíöèàëà (ðèñ.2.17). Íàèáîëåå øèðîêî ïðèìåíÿþò öèðêîíèåâûå è òèòàíîâûå ïüåçîýëåêòðè÷åñêèå êåðàìèêè. Íà âòîðîì ìåñòå ñòîÿò ïüåçîýëåêòðè÷åñêèå ïîëèìåðû, êàê ïðàâèëî ÏÂÄÔ. Êðîìå íèõ, èñïîëüçóþò ïüåçîýëåêòðèêè èç òèòàíàòà áàðèÿ, íèîáàòà ëèòèÿ è îêèñè öèíêà.

Ïüåçîýëåêòðè÷åñêèå ñåíñîðíûå ñèñòåìû ìîæíî èñïîëüçîâàòü ñîâìåñòíî ñ ÌÝÌÑ è îïòîâîëîêîííûìè äàò÷èêàìè. Îòìåòèì, ÷òî îíè ìîãóò ðåøàòü îáðàòíóþ çàäà÷ó, ïðåîáðàçóÿ ýëåêòðè÷åñêîå ïîëå â ìåõàíè÷åñêîå íàïðÿæåíèå, âîçáóæäàÿ óëüòðàçâóêîâóþ âîëíó. Ïüåçîýëåêòðè÷åñêèå ïîëèìåðû íàíîñÿò íà âîëîêíà äëÿ èçìåðåíèÿ âåëè÷èíû ýëåêòðè÷åñêîãî ïîëÿ, à íåêîòîðûå ìàòåðèàëû, ïðåèìóùåñòâåííî îêèñü öèíêà, èñïîëüçóþò êàê èñòî÷íèêè è äàò÷èêè óëüòðàçâóêà ñîâìåñòíî ñ ÌÝÌÑ. Êðèñòàëëè÷åñêèå ïüåçîýëåêòðèêè âðîäå íèîáàòà ëèòèÿ è ïüåçîêåðàìèê òàêæå èñïîëüçîâàëè â êà÷åñòâå èñòî÷íèêîâ è äàò÷èêîâ óëüòðàçâóêà â íå ñëèøêîì ìàëåíüêèõ ÌÝÌÑ.

 èíòåëëåêòóàëüíûõ ñèñòåìàõ ïüåçîýëåêòðèêè ïðèìåíÿþò â ñëåäóþùåì êà÷åñòâå:

• äåòåêòîðîâ äàâëåíèÿ èëè äåôîðìàöèè, îáû÷íî ïüåçîêåðàìè÷åñêèõ;

• äàò÷èêîâ, äàþùèõ èíòåãðàëüíóþ èíôîðìàöèþ î ïîâåäåíèè öåëîé îáëàñòè. Êàê ïðàâèëî, èõ äåëàþò èç ïüåçîïîëèìåðà;

• ñåíñîðîâ, êîòîðûå ñ ïîìîùüþ ìèêðîêàíàëîâ ñâÿçè èíôîðìèðóþò î äàâëåíèè âî ìíîãèõ òî÷êàõ ïîâåðõíîñòè. Äëÿ ýòîãî èñïîëüçóþò ïîëèìåðíûå ïëåíî÷íûå ïüåçîýëåêòðèêè. Îòìåòèì, ÷òî â íàñòîÿùåå âðåìÿ îáëàñòü ïðèìåíåíèÿ ïúåçîýëåêòðè-êîâ èíòåíñèâíî ðàñøèðÿåòñÿ.

1.3.4. Ïîâåðõíîñòíûå ïëåíêè è íèòè

Ñåíñîðû â âèäå ïîâåðõíîñòíîãî ïîêðûòèÿ èçâåñòíû óæå äîñòàòî÷íî äàâíî. Íàïðèìåð, ïîêðûòèÿ, èçìåíÿþùèå öâåò ïîä äåéñòâèåì âíåøíåãî âîçäåéñòâèÿ. Îáû÷íî òàêèå ïîêðûòèÿ è àíàëîãè÷íûå èì òêàíè íå ïîçâîëÿþò ïîëó÷èòü òî÷íîé êîëè÷åñòâåííîé èíôîðìàöèè. Îäíàêî ÷àñòî òðåáóåòñÿ ëèøü êà÷åñòâåííàÿ èíôîðìàöèÿ î äîñòèæåíèè êîíòðîëèðóåìûì ïàðàìåòðîì ïîðîãîâîãî çíà÷åíèÿ, à â íåêîòîðûõ ñëó÷àÿõ ñîîòâåòñòâóþùèé àíàëèç êà÷åñòâåííûõ õàðàêòåðèñòèê ìîæåò äàòü êîëè÷åñòâåííûé ðåçóëüòàò.  èíæåíåðíîì ñìûñëå ïëåíêè è íèòè ÿâëÿþòñÿ ïëîõèìè äàò÷èêàìè, íî èìåííî òàê áèîëîãè÷åñêèå ñèñòåìû ïîëó÷àþò âñþ èíôîðìàöèþ, êðîìå âèçóàëüíîé è àêóñòè÷åñêîé.

Âîçìîæíî, ñàìûé èçâåñòíûé ïðèìåð òàêèõ ñèñòåì - ýòî òðèêîòàæíàÿ ðóáàøêà, êîòîðàÿ ñòàíîâèòñÿ êðàñíîé, êîãäà åå òåìïåðàòóðà ïðèáëèæàåòñÿ ê òåìïåðàòóðå òåëà. Ýòîò ñëó÷àé ñòàë îáúåêòîì ìíîãèõ, íå âñåãäà âåæëèâûõ, êîììåíòàðèåâ.  òåõíè÷åñêèõ èçäåëèÿõ ñïåöèàëüíûå êðàñêè è ïîêðûòèÿ èñïîëüçóþò äëÿ îáíàðóæåíèÿ ìåñòà ïîâåðõíîñòíîãî âîçäåéñòâèÿ ("ñèíÿêîâ") è âûÿâëåíèÿ äîñòèæåíèÿ íåêîòîðîãî ïîðîãà òåìïåðàòóðû. Áîëüøèíñòâî òàê íàçûâàåìûõ èíòåëëåêòóàëüíûõ êðàñîê èñïîëüçóþò õèìè÷åñêèå ðåàêöèè â ïîëèìåðàõ, â ðåçóëüòàòå êîòîðûõ ïîÿâëÿþòñÿ ïèãìåíòû, èçìåíÿþùèå öâåò ïîâåðõíîñòè ïîñëå òåïëîâîãî èëè ìåõàíè÷åñêîãî âîçäåéñòâèÿ.

Óãëåðîäíûå âîëîêíà èçìåíÿþò ñîïðîòèâëåíèå ïîä äåéñòâèåì äåôîðìàöèè, ÷òî õàðàêòåðíî äëÿ ïüåçîðåçèñòîðîâ. Ýòî ñâîéñòâî èñïîëüçóþò äëÿ êîíòðîëÿ óðîâíÿ äåôîðìàöèè â óãëåïëàñòèêàõ. Èñïîëüçîâàíèå âîëîêîí äëÿ êîíòðîëÿ óðîâíÿ íàïðÿæåíèÿ èìååò î÷åâèäíûå ïðåèìóùåñòâà íåñìîòðÿ íà òî, ÷òî èõ íåëüçÿ íàçâàòü "õîðîøèìè" èíæåíåðíûìè äàò÷èêàìè â ñâÿçè ñ ðàçáðîñîì õàðàêòåðèñòèê. Òåì íå ìåíåå îíè äàþò î÷åíü ïîëåçíóþ êà÷åñòâåííóþ èíôîðìàöèþ, àíàëèç êîòîðîé õàðàêòåðèçóåò ñîñòîÿíèå ñòðóêòóðû.

Ðåçèñòèâíûå ïîëèìåðíûå íèòè äàþò àíàëîãè÷íóþ èíôîðìàöèþ î ñîñòîÿíèè ãèáêèõ è æåñòêèõ êîíñòðóêöèé. Ïîëèìåðíûå íèòè ââîäÿò â òêàíè è ñ ïîìîùüþ ìíîæåñòâà ýëåêòðîäîâ íà êîíöàõ âîëîêîí ïîëó÷àþò ñåíñîðíóþ ñèñòåìó, êîòîðóþ ìîæíî ïðèêëåèâàòü ê ñòðóêòóðàì ëþáîé ôîðìû. ×óâñòâèòåëüíûå ïîëèìåðíûå âîëîêíà ìîæíî ââîäèòü è â âîëîêíèñòûå êîìïîçèòû òèïà óãëåïëàñòèêîâ. Îäíàêî â ýòîì ñëó÷àå òåìïåðàòóðà îòâåðæäåíèÿ ïîëèìåðíîé ìàòðèöû äîëæíà áûòü íå ñëèøêîì âûñîêîé, ÷òîáû íå èñïîðòèëîñü ÷óâñòâèòåëüíîå ïîëèìåðíîå âîëîêíî.

Äèàïàçîí ïðèìåíåíèÿ ñåíñîðíûõ âîëîêîí è ïîêðûòèé îãðîìåí.  ïåðñïåêòèâå îíè áóäóò èñïîëüçîâàòüñÿ â ìåäèöèíå. Íàïðèìåð, ïðè ìåäèöèíñêîì îñìîòðå âìåñòî ñèñòåìû íàêëàäûâàåìûõ ýëåêòðîäîâ ìîæíî îäåâàòü èíòåëëåêòóàëüíûé òðèêîòàæíûé êîñòþì èëè ïîâÿçêó. Àíàëîãè÷íî, äëÿ ëå÷åíèÿ ïîâðåæäåííîãî ñóñòàâà èëè êîíå÷íîñòè â èíòåëëåêòóàëüíûé ïðîòåç ìîæåò áûòü âñòðîåíà ñèñòåìà ïðåîáðàçîâàòåëåé. Ýòî íàïðàâëåíèå èññëåäîâàíèé èìååò áîëüøîé ïîòåíöèàë (ðèñ.2. 19 è 2. 20).


ÇÀÊËÞ×ÅÍÈÅ

Ïðåæäå âñåãî, èíòåëëåêòóàëüíàÿ ñòðóêòóðà äîëæíà ïîëó÷èòü èíôîðìàöèþ.  äàííîé êóðñîâîé ÿ ïîïûòàëñÿ îïèñàòü ñåíñîðû, äàþùèå èñõîäíûå äàííûå. Âîçìîæíî, äàëüíåéøåå ðàçâèòèå ñåíñîðíûõ ñèñòåì áóäåò îðèåíòèðîâàíî íå íà èñïîëüçîâàíèå êîìïüþòåðîâ, à íà êîïèðîâàíèå ïðèíöèïîâ äåéñòâèÿ áèîëîãè÷åñêèõ îáúåêòîâ.

Ñåé÷àñ òðóäíî èëè äàæå íåâîçìîæíî îïðåäåëèòü, êàêîå íàïðàâëåíèå ðàçâèòèÿ áóäåò ïðåîáëàäàòü. Îäíàêî, íåçàâèñèìî îò îñîáåííîñòåé êîíêðåòíîé êîíòðîëèðóåìîé ñòðóêòóðû, äàò÷èêè æåëàòåëüíî ðàññìàòðèâàòü êàê åå ñîñòàâíóþ ÷àñòü, à íå äîïîëíåíèå ê íåé. Êîìïëåêñíûé ïîäõîä âàæåí ïðè ïðîåêòèðîâàíèè ëþáîé ñòðóêòóðû, áóäü òî èíòåëëåêòóàëüíûé òðèêîòàæíûé êîñòþì èëè ïîäâåñíîé ìîñò. Ïðè ýòîì ñ÷èòûâàíèå èíôîðìàöèè, ïðèíÿòèå ðåøåíèÿ è äåéñòâèÿ äîëæíû ïîä÷èíÿòüñÿ íåêîòîðîìó íàáîðó ïðîñòûõ ýêñïëóàòàöèîííûõ êðèòåðèåâ.

 ýòîé êóðñîâîé ÿ ïîïûòàëñÿ ïðåäñòàâèòü êðàòêèé îáçîð ìåòîäîâ ïîëó÷åíèÿ èíôîðìàöèè ïðè ïîìîùè ñåíñîðíûõ ñèñòåì è äàë ïðåäñòàâëåíèå î âàæíîñòè ïðîöåäóðû îáðàáîòêè ñèãíàëà. Êðîìå òîãî, ÿ îáñóäèë ïåðñïåêòèâû ðàçâèòèÿ ñåíñîðíûõ òåõíîëîãèé. È ìîæíî íàäåÿòüñÿ, ÷òî â ýòîé îáëàñòè íàñ îæèäàþò íîâûå îòêðûòèÿ è èíòåðåñíûå ðàçðàáîòêè.


ÈÑÏÎËÜÇÎÂÀÍÍÀß ËÈÒÅÐÀÒÓÐÀ

1. Ê. Óîðäåí, Á. Êàëøîó, Ó. À Áàõî, Äæ. Õýéâóä. Íîâûå èíòåëëåêòóàëüíûå ìàòåðèàëû è êîíñòðóêöèè. Ñâîéñòâà è ïðèìåíåíèÿ.

Ìèíèñòåðñòâî îáðàçîâàíèÿ Ðîññèéñêîé Ôåäåðàöèè Ìîñêîâñêèé àâòîìîáèëüíî-äîðîæíûé èíñòèòóò (ÃÒÓ) Âîëæñêèé ôèëèàë ÐÅÔÅÐÀÒ ÍÀ ÒÅÌÓ: ÈÍÒÅËËÅÊÒÓÀËÜÍÛÅ ÒÅÕÍÎËÎÃÈÈ Âûïîëíèë: ñòóäåíò 2 êóðñà ãðóïïû ÝÓÒ-

 

 

 

Âíèìàíèå! Ïðåäñòàâëåííàÿ Êóðñîâàÿ ðàáîòà íàõîäèòñÿ â îòêðûòîì äîñòóïå â ñåòè Èíòåðíåò, è óæå íåîäíîêðàòíî ñäàâàëàñü, âîçìîæíî, äàæå â òâîåì ó÷åáíîì çàâåäåíèè.
Ñîâåòóåì íå ðèñêîâàòü. Óçíàé, ñêîëüêî ñòîèò àáñîëþòíî óíèêàëüíàÿ Êóðñîâàÿ ðàáîòà ïî òâîåé òåìå:

Íîâîñòè îáðàçîâàíèÿ è íàóêè

Çàêàçàòü óíèêàëüíóþ ðàáîòó

Ïîõîæèå ðàáîòû:

Èñïûòàíèå ýëåêòðîîáîðóäîâàíèÿ
Èññëåäîâàíèå äâèæåíèÿ ìåõàíè÷åñêîé ñèñòåìû ñ äâóìÿ ñòåïåíÿìè ñâîáîäû
Èññëåäîâàíèå èíäóöèðîâàííîé øóìîì ñèíõðîíèçàöèè â ñèñòåìàõ ñ äèñêðåòíûì âðåìåíåì
Èññëåäîâàíèå ìîäåëè ýëåêòðîëèòè÷åñêîãî îñàæäåíèÿ ìåäè
Èññëåäîâàíèå îáðàòíîé ñâÿçè â óñèëèòåëÿõ
Èñòî÷íèêè èñêóññòâåííîãî îñâåùåíèÿ
Ê âîïðîñó î Åäèíîé òåîðèè ïîëåé è âçàèìîäåéñòâèé
Êâàíòîâûé âûõîä ñâåòî÷óâñòâèòåëüíûõ ñòðóêòóð ïîëóïðîâîäíèê-ìåòàëë-äèýëåêòðèê
Êèíåìàòè÷åñêèé è ñèëîâîé ðàñ÷åò ìåõàíèçìà
Êëàññèôèêàöèÿ è ïðèìåíåíèå ãèäðîòóðáèí

Ñâîè ñäàííûå ñòóäåí÷åñêèå ðàáîòû

ïðèñûëàéòå íàì íà e-mail

Client@Stud-Baza.ru