. , , ,

,,,

—


: 43 , 12 , 1 , 6 .


` .

.

, .



RESUME


The graduation research “Using the Scanning Electron Microscopy for diagnostics of a surface of semiconductors ” 2003, student Lyashenko O.A. (DNU, physical faculty, gr. FP-98-1, department of optoelectronics) leader Klimenko V.V.

The work is interesting for researchs the semiconductor researches.

Bibliography pages 43, Tables 1, Images 12.


:


.


4

Resume 5

. 7


. ˳ 8

  1. 8

  2. 10

  3. 14

  4. - 15

  5. 16

    1. 16

    2. 18

    3. 19

  6. . 21

  7. . 23

    1. 23

    2. 䳿 23


. 26


. 27


31


V. 32

  1. 32

1.1 32

  1. 37

2.1 (). . 37

2.2 39

2.3 40


˳ 43


.


ﳿ. , , . Գ - .. , 㳿 . 1924 . . , , , ', 2-30 . , . ', , 1931 . . ..


IJ . ˲


  1. Ͳ


, , . 10-4 . ( ), . , - , .

.1. , , . 4 ( ) . , , t


(1)


m , V , . q:


(2)


V- , .

, (.1), 䳺 ,


(3)


(3)


- .


  1. Ͳ ˲



.2. .2 . i r ' :







(4)


n1 n2 ; V1 V2 . . 2. 2 , , .


(5)



(5)


- . - , (.2). 䳺 , , . , . , , .

, , , 1 - 2.

, .3, , 䳺 , , .

. , , . , , .


  1. ͲͲ ˲


.4. V ( ). (.4) (Vz Vr ). ³ z r. Vz r F (. 4, , ). F , ' V, z Fr, . , 12, , F . , , .


( ).

  1. -Ͳ ˲ в˲


(), , ', , '. , , . . ' , ' ( , 0.1 ). , 㳿. 㳿 . .


  1. ² ̲


, , . , , ' , , . , , . , . -100 000 , . . , , , . , .


5.1 .


, . , , , 䳺 , , . , , , . , - , . 10100 . , .

. , . ij '. ' , . ' , . ' ' ( 100); , , 10 1000. , , , 1000 ~1 000 000. ( .) ' , . - .


5.2 .


. , . , , , . - , ( ) . , , , , , , , . , '. , , , ' . . ' .

, 䳺 . , , , . 10 , 10 , . - . , . ³ , , , ' . . , , , , . , 100 , . , , 10 .


5.3 .


, . , . . , , , ; , , , . , . , ( 0,09, ' 0,95), 50100 . 0,17 , . ; , , ( 2,5 ) , .


  1. ̲. Ͳ ²Ҳ


. ' , , , - 50 200 . , , ' . 䳿 ' ; , ' ( ); . , , - ().

. ' . .

г ' 䳿 .

' .5. , .




, . ' , , , .

: . . , , .


  1. ̲. ͲͲ ²Ҳ


7.1


, , .

, 20X , 100000 .

:

1) ;

2) ;

:

) ;

) ;

) ;

) .


7.2 䳿


(  10 ) () . - .


, . ﳿ.

() ( ) (.6). , 1-50 . , , .

(). () 㳺 㳿 ; 㳺 . , . , ' , ', .


IJ . ײ


, 20X , 100000 .

:

1) ;

2) ;

  1. .


:


  1. .

  2. .

  3. - .

  4. .

  5. .

  6. .

  7. .

  8. .

  9. .


IJ .


:

  • TESLA BS500. 7 , 500 100000

  • ϳ 5-7. 10-10 (V)

  • . ( )


- , .

. 7.

1. . 2. . 3. . 4. . 5. . 6. 5-7. 7. . 8.




(.7). (.8).


. 8.

1. . 2. . 3. . 4. . 5. . 8.


:

  1. = 0.25 .

  2. ~0.5 .

  3. ’ 3 .

. (1) (.7,8), (2) (3) , (. 7).

. 9, 10, 11, 12.



.9. = 0.25 . .




.10. = 0.25 . .



. 11. ~0.5 . .


. 12. ’ 3 . .


.


  1. , :

) .

) .

) .

) ’.

) .

) .

  1. :

) .

) , .

  1. .


IJ V. ֲ


  1. Ҳ ̲


1.1 .


.

, , , 2% . , , . 80% 1000 (110 380 ). .

: , (, , ).

, :

1. . . :

  • (0.5-1.5 , 5-7

);

  • (10-15 ,

50-80 );

  • (100 ).

2. г . ³, 50-60 , . U>300 . 䳿 1000-2000 , 450-500 ( ).

3. . , , , , , . 1000 . . 2000-2500 , 700 .


, 1 6 65 75 100 250
, 6 18 75 80 100 175
, 6000 3000 1150 1065 1000 700

4. . ³ . () 50 , 200 . 127, 220 380 .

5. . , , , , 䳺 . , : -, -, -, -, -.

6. 䳿 . , .

7. . 䳿 , , .

䳿 :

  • , ;

  • (, .) .

.

:

  • , , ;

  • ;

  • , ;

  • ;

  • ;

  • .

, , , , .

̳ 3*380  3*220  220 . 50 60 , Umax 10%. , 5,5 . ̳ , .

г :

  • 220

  • 220

  • 60 (90 )

  • - 60 (90 )

  • 220

` , ( , , .).

. , , . ( , .). , .

.

.

.


  1. Ҳ ̲.


, , , , , . . 䳿 , , , . , .

, .


2.1 (). . .


, , , . , , 䳿 ’, , , - , ( , , ) .

: ( ); , ; (, ), ; . , .

. , , ( 200000 ). () ’ Q () -:



, ;

R , ;

 - , .

( , ). , , ( , , ).

, , . 䳿 . , . , , , .

. .

:

  • , , ;

  • , ;

  • , ( , , ).


    1. .


, , , , , , . , - . , .

( , , , ), .

:

  • ,


;

;


  • , ;

  • , , .


    1. .


, ’ , , ’ . ’



rk .

:



r , , ;

r - , , .

’ , . , . , , , .

:

  • ;

  • ;

  • ’ .

- .

24-86 .

: .

:

  • ;

  • ;

  • .

ճ .

:

  • ϳ


˳.


    1. . . , , 1968 .

    2. . , , 1958 .

    3. . , . . , , 1986 .

    4. . , . , . , . , . , , 1968 .

    5. . , , 1950 .

    6. . . , . . ϳ , . 2001 .


: 43 , 12 , 1 , 6 . ` .

 

 

 

! , , , .
. , :